События применения
Процесс сухого гравирования широко применяется в производстве микросхем.Пластина распределения газа с плотными крошечными отверстиямиПри надлежащем напряжении и введении кислотного плазменного газа для гравирования,микрофабрикация выполняется на кремниевой пластинке внутри высокотемпературной камеры в соответствии с схемами цепей, определенных литографией, чтобы выгравировать поверхность пластины на проектируемую ширину и глубину линии и сформировать микроинтегрированные схемы.
В то время как кремниевая пластина выгравируется, плазма также изнашивает оба электрода.Электроды постепенно подвергаются физической и химической коррозии из-за газа для гравированияПосле износа до определенного уровня электроды должны быть заменены, чтобы гарантировать равномерное гравирование. The evenly‑distributed holes on the upper electrode (shower head / gas distribution plate) will deviate in dimension due to etching‑gas corrosion and need replacement when tolerance limits are exceeded.

Анализ решения
🔹 Испытания на монокристаллическом кремниевом микробурении с PCD длиной φ0,45 мм показывают минимальное дробление края отверстия.точность измерений в пределах ±00,003 мм и шероховатость поверхности ≤Ra0,2 мкм, соответствующая требованиям заказчика.
🔹 В предварительных испытаниях сверло демонстрирует небольшое износ края после обработки 3500 отверстий и остается пригодным для использования.
🔹 Микробурлы Worldia PCD разделены на четыре серии (WZ1, WZ2, WZ3 и WZ-X) в соответствии с обработанными материалами и сценариями применения, диаметр которых составляет φ0,1-φ1,0 мм.Прочные PCD сверла принимают самоцентрирующийся дизайн, поддерживающий максимальное отношение глубины к диаметру до 57:1. Чип-флейты изготавливаются путем интегрального шлифования для гладкой эвакуации чипа.PCD сверла дает отличную износостойкость, длительный срок службы инструмента и высокая последовательность измерений.расплавленный кремний и другие материалы в полупроводниковой промышленности.

Источник данных: Отчет о испытаниях инструментов отдела технологий высокоточных инструментов Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd.

Дополнительная информация приведена на сайте:

📌www.worldia-tools.com

Или отправьте запросы на адрес: info@worldia-tools.com